产品型号：SL-1200X

产品品牌：上海升利

SL-1200X是一款小型的双炉体滑动管式炉，炉管为Φ50×1600mm的石英管，并配有不锈钢密封法兰，仪器最高温度可以达到1200℃。两个炉体可在双向导柱滑轨上滑动，实现对原材料的蒸发/升华，及薄膜沉积。通过炉体的滑动可实现对样品快速升降温的需求。同时可选配电动滑轨、质量流量计（MFC）控制的供气系统和等离子射频电源来搭建TCVD系统。