加热炉

炉膛分为三个温区,温区长度为300-300-300m (总温区长度为900m)每个温区都采用双热偶，(一个为控制热电偶，一个为监测热电偶)热电偶类型为K型热偶

加热元件:掺钼铁铬铝合金(表面涂有氧化锆涂层，可延长使用寿命)
最高工作温度为1100 (<1小时)
连续工作温度为: 400-1050C
最高升温速率: 10C/min
最大功率:11 KW
电源: AC 208-2407 单相，50/60 Hz (需75 A空气开关)炉膛内部温度曲线度(仅参考)
8100-81000度时省区分布图

回转机构
采用一直流电机来驱动石英管转动
转动速度: 3 - 10 RPM (可调速)

采用电动推杆使炉体倾斜，最大倾斜角度为15°

炉管

材料:高纯石英管
炉管中间为圆柱形，内壁焊接有扬料板
炉管尺寸:外径中210*内径中200*长度1800mm

密封法兰
法兰-端为KF25抽真空接口
法兰另一-端为中6. 35双卡套进气口
法兰动密封结构为磁流体密封(保证法兰前端不动，后端转动)

真空度可达到: 10-2 torr (采用机械泵)

温控系统
采用PID方式调节温度,每个温区都有独立的温控系统
可设置30段升降温程序
设置有超温和断偶(断热电偶)保护

安全
所有电器元件(输入电压324V)都可以选择通过UL / MET / CSA

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