主要特点

1、配有高频阀门(最大283Hz)。

2、4英寸气体分散喷头。
3、和旋转加热样品台。
所有ALD参数都通过6英寸设置，包括气体注入时间，惰性气体的流量,和温度和样品台旋转速度

控制面板

ALD阀的脉冲时间和循环都控制到微秒级别的精度,控制2个通道气体流量的质量流量计精度为+0.2%F.S可显示腔体内部真空度，其他参数可按客户要求增口。
ALD阀最小脉冲时间: 10ms.. 可通过气体和液体蒸汽.

样品台

材料:铝合金和不锈钢
4英寸喷头，喷孔直径为0.5mm
中6.35的通气接口用于连接ALD阀
特殊的流道设计，可是气体/蒸汽均匀地传递和分散到沉积腔体中
气体/蒸汽分散喷头
5英寸的可旋转和加热的样品台转速: 0-5RPM
温度:室温-800C，控温精度: +/-5C. 沉积基底最大尺寸:直径中100m

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