产品型号：ALD-GSL-4

产品品牌：上海升利

ALD-GSL-4是一套2通道ALD控制系统，包含4通道质子流量计进行气体的混合和输送，可与本公司任意管式炉或腔体进行DIY，组建一套ALD系统，用于薄膜的制备或者粉末表面的包覆复合。LCD触摸屏可方便的对每一通道ALD的脉冲时间以及气体流量进行控制。