双重石英管结构

高纯石英管

内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率,同时也可以延长仪器的使用寿命
外管尺寸:279 0.D x 269 I.D x 1300mm Length (11" 0.D x 10.6" I.D x 48”L), 两端打开,可以连接法兰
内管尺寸: 216 OD x 206 IDx 750 mm Length (8.5"0D x 8.1"ID x30"L),-端封闭另一端连接到气体入口和出口.

壳体结构
采用双层壳体结构，并带有风冷
保温材料采用高纯氧化铝纤维,环保节能,可以最大程度的减少热量的损失.
加热元件: NiCrAI电阻丝

仪器中包含两个石英管塞, ,设备在加热前必须放入炉管内，防止热量以热辐射的形式散失

如果使用内管进行薄膜的生长，那么最大可在8英寸的基片上

加热区
总加热区长度: 900 mm (36")
三个温区: 300 mm + 300 mm + 300mm (12" per zone)

工作温度

最高工作温度1100°C(< 1 hour)

正常工作温度: 200~1000°C

最大升温速率&降温速率: 10°C/min

温控系统

三个精密温度控制器，采用PID方式控温，并可设置30段升降温程序,每个温区可以进行独立控温
热电偶:三根K型omega原装热电偶， 每个温区各一根
控温精度: +/- 1°C
可选: PC控温软件，将温度曲线和程序导入到电脑中(另购)

真空密封法兰
仪器中包含有一对不锈钢真空密封法兰 ，采用硅胶密封圈密封
真空度可以达到10^-2 torr (用机械泵)
左侧法兰:包括化学汽相淀积进气口和冷却气体in&out端口
右侧法兰: KF40真空接口和，KF40真空阀广]直接于KF-40波纹管和真空泵相连接，(如想泵和KP -25接口相连接,需要另购-个KF -40转KF -25接头)

电压
单相220V AC, 50/60 Hz
包含电源线插头AWG 8#

最大功率
12KW (需50A空气开关)

外形尺寸
1300 L x 623 W x 940 H mm (51"L x24.5" Wx37" H) (不包含真空法兰)
1670Lx 623 W x940 H mm (66" Lx 24.5" W x37" H) (包含真空密封法兰)

净重
200kg

运输尺寸
70" x 70" x65"

运输重量
500Lbs (227kg)

质保期
一年质保期， 相关耗材除外,如炉管密封圈,加热元件等易耗件

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