产品型号：PECVD-8-16

产品品牌：上海升利

PECVD-8-16是一款平行板电容式PECVD系统，适用于中小式生产和实验，可放置12片6英寸基片。此系统组成：8英寸石英管管式炉，最高温度为1100℃，一个批量型石墨舟（可放12片基片），1000W射频电源，和一个4通道混气系统。此设备特别适用于太阳能电池和二维材料，扩产前测试实验。