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1200℃单温区三通道混气CVD系统

产品型号：
产品品牌：升利仪器
产品概述：
单温区管式炉CVD系统，其管径为80mm，采用机械泵，供气系统为三路浮子供气系统，其真空度可达到 10-2 torr.

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