产品型号：SL-CVD系列

产品品牌：升利仪器

小型双温区管式炉CVD系统，它由带快速链接法兰的小型双温区滑轨炉、质子流量控制器、真空泵三部分组成。双温区滑轨炉可移动并可实现快速升降温；触屏式三路质子流量器，能够精确控制系统的供气；真空泵可实现对管式炉快速抽真空。